小型電子顕微鏡計測機器|生産技術課

材料の破損原因究明において、強度試験、成分分析とともに重要な役割を果たすミクロ観察、微細分析において電子顕微鏡は欠かすことの出来ない装置です。また、金属、セラミックスなどの固体試料だけでなく、食品などの生体試料の分野でもミクロ観察、異物等の成分分析に用いられており、対象業界の広い装置です。
①材料の破損原因究明おいて強度試験や成分分析とともに重要な役割を果たすミクロ観察、微細分析に必須の装置です。
②光学顕微鏡では観察できない詳細な観察が可能であり、食品や化学製品の異物、不純物の原因特定が可能です。
③他の分析装置では不可能な微細な成分分析を行うことにより、原因となっている不純物、介在物の特定ができます。
④汎用型電子顕微鏡と異なり、比較的低真空での動作が可能なため、生体試験や食品などへの対応が容易となります。
使用料項目 小型電子顕微鏡

機器の仕様

メーカー ㈱日立ハイテクノロジーズ
型式 TM3030
スペック (本体)
倍率:×15~×30,000(デジタルズーム:×2、×4)
加速電圧:5kV/15kV
電子銃:プリセンタードカートリッジフィラメント
検出器:高感度4分割半導体反射電子検出器
観察モード:標準モード、帯電軽減モード
最大試料寸法:70mm径
最大試料厚さ:50mm
チルト&ローテーションステージ付
(元素分析装置)
検出可能元素:B5~U92
検出素子:シリコンドリフト検出器
冷却方式:2段ペルチェ(液体窒素不要)
エネルギー分解能:161eV(Cu-Kα)
分析:定性、定量(スタンダードレス法)
   点分析、線分析、面分析
特記事項

導入年度 H26
導入事業名等 平成26年度

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