レーザー顕微鏡
(貸与物品(四国経済産業局))計測機器|資源環境課

試料表面の微細な形状を計測することができます。
形状データは数値データとして得られるので、凹凸量の測定や粗さ測定が可能です。

使用例

・物体の表面粗さ計測

・表面の微細形状計測

 

使用料項目 レーザー顕微鏡

機器の仕様

メーカー 株式会社キーエンス
型式 制御部:VK-8700 / 計測部:VK-8710
スペック 測定用レーザー:赤色レーザー(波長658 nm)
観察測定範囲:135 μm×101 μm ~ 1350 μm×1012 μm
作動距離:0.3mm ~ 16.5 mm
高さ表示分解能:0.01 μm
高さ測定繰り返し精度:0.03 μm
幅測定表示分解能:0.01 μm
幅測定繰り返し精度:0.03 μm

特記事項 四国経済産業局からの貸与物品です。
導入年度 H19
導入事業名等

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